Полупроводниковая компания из другого мира: история Siliconix, часть 5

Фрэнсис и Билл Хьюгл основали производителя полупроводникового оборудования Hugle Industries в 1966 году. Они решили использовать знания, накопленные в полупроводниковой промышленности, начиная с Westinghouse в 1950-х годах и заканчивая основанием Siliconix в 1962 году и Stewart-Warner Microcircuits. в 1963 году для консультирования других полупроводниковых компаний и создания оборудования для производства полупроводников. В то время производство полупроводников было настолько новым, что не было экосистемы оборудования, на которую можно было бы опереться. Крупные производители полупроводников, включая Bell Labs и Western Electric, Fairchild Semiconductor, IBM, Motorola и Texas Instruments, располагали внутренними ресурсами для разработки линий по производству полупроводников и изготовления необходимого оборудования.

Однако к концу 1960-х годов ситуация быстро изменилась. Новые стартапы по производству полупроводников возникали по всей Кремниевой долине, и эти компании были слишком малы, чтобы создавать собственное производственное оборудование. Им требовалось готовое оборудование и помощь в настройке производственных линий. Им нужна была экосистема. Хьюглы обнаружили, что их опыт пользуется большим спросом.

Как обычно, Билл Хьюгл занимался бизнес-аспектами новой компании, а Фрэнсис Хьюгл проектировала оборудование. В июне 1966 года, в том же году, когда была основана Hugle Industries, компания анонсировала свой эпитаксиальный реактор HIER, который выращивал полупроводниковые слои на 25 1-дюймовых пластинах одновременно. Эпитаксия является важным технологическим этапом для многих типов полупроводниковых процессов, включая процесс изготовления МОП-структур с кремниевым затвором. Один из патентов Фрэнсис Хьюгл, полученной во время ее работы в Siliconix, касался эпитаксиального роста при производстве транзисторов. Согласно устной истории, записанной основателем Applied Materials Майком Макнейли для Музея компьютерной истории, только Hugle Industries и Echo Labs из Нью-Джерси на тот момент занимались производством полупроводников.

Также в 1966 году Фрэнсис Хьюгл разработала и позже запатентовала идею, благодаря которой она, пожалуй, наиболее известна: упаковка TAB (автоматическое склеивание ленты). До упаковки TAB производители ИС соединяли свои полупроводниковые кристаллы с выводным каркасом и выводами ИС, используя золотые провода, прикрепляемые вручную. Этот ручной процесс был склонен к производственным дефектам. В конечном итоге, чтобы обойти человеческий фактор, были изобретены автоматические устройства для склеивания проводов с визуальным контролем, но упаковка TAB оказалась еще более эффективной.

Идея Фрэнсиса Хьюгла заключалась в том, чтобы заменить золотые провода химически травлеными металлическими выводными рамками, прикрепленными к непрерывной полосе пластиковой пленки (первоначально майларовой, а затем каптоновой). Эти металлические выводные рамки должны были иметь выступы на концах, чтобы всю выводную рамку можно было прикрепить к полупроводниковому чипу за одну быструю автоматизированную операцию, которая устраняла человеческий фактор, связанный с соединением проводов, и значительно снижала затраты на упаковку. Это нововведение положило начало межсоединению с перевернутыми кристаллами и стало крупным нововведением в области полупроводниковых корпусов, которое получило широкое распространение.

К 1968 году Hugle Industries размещала полностраничную рекламу в таких журналах, как Electronics и Electronic Design. Эти объявления содержали длинный список доступного оборудования для производства полупроводников, включая:

Эпитаксиальный реактор Hugle Industries HIER, рекламируемый в 1968 году. Изображение предоставлено: Hugle Industries

К сожалению, Фрэнсис Хьюгл скончалась 24 мая 1968 года в возрасте 40 лет после шестимесячной болезни. Билл Хьюгл и Hugle Industries выстояли. В 1969 году в Японии открылось подразделение Hugle Industries под названием Hugle Electronics, которое продолжает работать по сей день.

К 1970 году Билл Хьюгл почувствовал, что производители полупроводникового оборудования не получают достаточного внимания со стороны крупных выставок электроники, таких как Wescon, Nepcon и конференции IEEE Electro в Нью-Йорке. Поставщики полупроводникового оборудования обнаружили, что их стенды на выставках зажаты между представителями несвязанных компаний, и трафик на стенды этих поставщиков полупроводникового оборудования пострадал. В результате Билл Хьюгл и Фред Кулике, поставщик оборудования Kulicke and Soffa, решили создать торговую ассоциацию специально для поддержки растущей экосистемы оборудования для производства полупроводников. Они назвали организацию, которую они основали, Институтом полупроводникового оборудования и материалов, или SEMI. Они также создали выставку, посвященную поставщикам полупроводникового оборудования, и назвали ее SEMICON. И организация SEMI, и выставка SEMICON с тех пор выросли и продолжают работать сегодня.